進化する 精密計測·測定：ナノメートル計測および三次元計測における測定の不確かさの推定

摘要

精密測定において、測定の不確かさを評価することの重要性は幅広く認識されるようになった。 また、トレーサビリティの考え方も産業界では認識度があがり一般的な測定の評価として、トレーサビリティや測定の不確かさが議論される状況になりつつある。 長さや形状の測定において、一般的な測定機器を使用して長さ測定を行う場合の不確かさについては、表1に示すように測定機器の持つ不確かさ、測定機器の校正作業による不確かさ（校正の基準となる標準を含む）、測定作業の不確かさ、環境の影響（特に温度）を考えればいいので、比較的簡単に評価が可能である。ここでは、不確かさ評価について、ナノメートル計測と三次元計測を取り上げて解説する。 ナノメートル計測においては、教1と同じような評価を行う場合に、改正の基準となる標準が一番の問題となっでいる。 そこで、ナノメートル計測における不確かさ評価として、ナノメートル標準の確立に重点をおいて解説する。 一方、三次元計測では、計測の手順が複雑であり、多くの要因を考える必要がある。 測定戦略に依存する評価が重要となり、測定戦略を考慮した三次元計測の不確かさ推定について、ISOの標準化の動向を含めて解説する。