非接触渦電流変位センサを用いた3次元測定機用プローブユニットの開発

摘要

3次元測定機は製品の精度を検査する機械として多くの工業分野の製品製造に欠かせない装置である。本研究室が開発した実用型3次元測定機に使用されるプローブユニットに接触式センサを使用して計測点の座標を検出すると、センサのヘッド部の計測力が大きく、場合によっては計測誤差が発生する問題が存在する。本稿では、非接触式の渦電流センサを使用することによって計測力を低減する方法と、機能を改善する新型プローブユニットの設計案について報告する。