超精密ダイヤモンド切削工具「UPC」による最新の金型加工

摘要

本稿では、ガラスレンズ成形用金型で使用される超硬合金を超精密切削加工でナノメートルオーダーに仕上げることを実現した超精密ダイヤモンド切削工具「UPC」と、従来のフォトリソグラフィに代表される半導体のプロセス加工技術に対し、マイクロ切削加工において加工の自由度が高く、適用領域が拡大している3次元マイクロ切削工具「ナノマイクロフォーミングツール」の加工事例について紹介する。