超精密5軸加工機「ナノアスファASP01UPX」

摘要

現在、光学金型の加工を主目的とする超精密加工機は、光学モジュールの省エネルギー化や使用光線の短波長化により、これまで以上の形状精度、面粗さが要求されている。また、従来の用途に加えて、HUD（ヘッドアップディスプレイ）を代表とする車載用光学ユニットや、医療機器·バイオ機器といった分野で新しい超精密加工ニーズが創出されつつある。さらに、必要とされる光学形状も用途によって多様化が進み、加工能率の向上も求められている。近年、加工の微細化·複雑化がさらに進んできており、これらの加工ニーズに対応できる機種の開発が必要になってきた。今回、各直動軸の高速化を図り、これらの加工用途に対応できる「超精密5軸加工機ナノアスファASP01UPX」を開発·市場投入したので紹介する（図1）。