プラズマCVD法による超硬質膜の金型への応用

摘要

プラズマCVD法(PCVD；Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)は、原料はすべてガスを使い、プラズマ化学反応により膜を形成させるため、低温で密着性および緻密性に優れた皮膜を複雑形状品につき回りよく被覆できる。 また、PCVD法は真空を破らずに1回の工程で1つの装置の中で窒化などの拡散硬化処理＋硬質皮膜という複合処理が簡単にできる。 そのため、PCVD法は3次元立体形状物である各種金型の処理に向いている。 そこで、量産型PCVD装置の構造と金型寿命を向上させることができるPCVD法により作製した超硬質膜について、その特性と応用について報告する。