高出力レーザによるレンズ調芯手法を用いたハイブリッド集積多チャネル光送信モジュール開発

摘要

高出力レーザを用いたレンズ微調芯手法を提案する．原理をシミュレーションにより明らかにした上で，厳しい位置トレランスが要求されるレンズ調芯に対してサブミクロンの精度で位置調整可能であることを示す．特に，本手法はレンズホルダに対して上面から高出力レーザを照射することで実現可能であることから，高密度集積多チャネル光学系に適用可能であることを示す．本手法を用い，レンズ結合によるハイブリッド集積100Gbit／sイーサネット用光送信モジュールの光学系を開発した．