マッハツェンダ干渉型光ファイバ複合センサの開発

摘要

ファイバカップラの製造方法を応用して光ファイバを溶融して小型のマッハツェンダ干渉計センサ（CMZ）を作製した．そしてCMZを複数のセンシング機能を有する複合センサとして検証するため，それぞれの機能評価実験を行った．はじめに接触センサとしてオシロスコープ（以下OSC）とパワーメータによる接触時の反応の観測及び接触反応精度評価実験を行った．次に鉄板を伝導するAE波検出センサとしての振動源からのセンシング距離による反応感度の測定を行い，さらにはAE波振動源の位置方向が特定可能なセンサとしての有効性を検証するため，FFT処理を施したセンサ周囲八方向からの検出波形の差異を観測した．