窒化ケイ素ナノセラミックスの作製と塑性変形

摘要

窒化ケイ素（Si_3N_4）セラミックスは，高い耐クリープ性から高温構造材料として応用が期待されている一方，粒子径が小さな材料は，焼結温度以下の温度で塑性変形能をもつことが知られている。近年，ナノテクノロジー技術を駆使し，ナノメートルレベルの微構造を実現することにより飛躍的な特性向上が期待されている。 本研究では塑性変形能の向上を目指し，ナノメートルレベルの粒子径の窒化ケイ素セラミックスの作製を試み，圧縮による変形を測定した。