Brillouin光散乱法を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定

富田昇太; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 高柳真司; 松川真美

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Brillouin光散乱法を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定

机译：布里渊光散射法同时测量c轴取向薄膜的声速和法向折射率

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Brillouin散乱法は試料中を伝搬する音速および屈折率を測定する技術として知られている．この手法は非破壊·非接触で測定を行うことができ，また薄膜材料に対しても有効である．今回，我々は90Rおよび180°散乱配置という2つの光学散乱配置を組み合わせて，c軸配向ScAlN薄膜の厚み方向に伝搬する音速と常屈折率の測定を試みたので報告する．

机译：布里渊散射法是一种用于测量样品中传播的声速和折射率的技术。该方法可以执行非破坏性和非接触式测量，并且对于薄膜材料也有效。在此，我们报告了通过结合两个光学散射布置（90R和180°散射布置）在c轴取向ScAlN薄膜的厚度方向上传播的声速和法向折射率的测量结果。

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来源
《電子情報通信学会技術研究報告. 超音波. Ultrasonics》 |2015年第102期|共6页
作者
富田昇太; 柳谷隆彦; 鈴木雅視; 高柳真司; 松川真美;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类声学;
关键词
Brillouin散乱; ScAlN薄膜; 音速; 屈折率;

机译：Brillouin散乱;ScAlN薄膜;音速;屈折率;

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