走査型電子顕微鏡の原理と応用

摘要

最近ではSEMの自動化が急速に進み，煩雑な操作から解放されつつある。 一方,SEMの利用分野が急速に拡大し，幅広い分野の研究開発やプロセス評価の現場において必要な像情報がいかに迅速に得られるかが問われる時代になっている。 今後，装置面でこれらの要求に応え得る改良や工夫が継続的になされることは疑いないが，本稿ではSEM原理の解説に加えてそうしたSEMの新しい応用の一端を紹介した。 紙面の制約もあって，各項目において内容の掘り下げが不十分であったことをお詫びしたい。