BTAを含む硫酸銅浴からの銅電析におよぼす不溶性陽極の影響

摘要

金属銅は圧延性，熱伝導性や電気伝導性に優れており，その特徴を活かして薄膜化が可能である銅電析（銅めっき）は古くから，装飾用，亜鉛ダイガスト上へのめっきや精密電鋳，近年ではプリント配線板における回路形成（ビアフィリング）や多層積層板用の銅箔製造に用いられている1），2）この際に使用される電析浴には，古くはシアノ錯体やピロリン酸系錯体浴が用いられていたが，浴管理が難しく，排水処理コストも高いことから，現在では硫酸銅と硫酸からなる硫酸銅浴が用いられている3）．