エキシマレーザによる光·電気複合配線板用マイクロミラーの作製法

摘要

エキシマレーザを用いた3次元形状加工法を開発し，光·電気複合配線板内ポリマ光導波路の45°ミラー加工に適用した結果，実用可能なマイクロミラーを実現した。 光·電気複合配線板の光導波路に45°ミラーを形成する方法として，レーザ加工時のマスク開口サイズを制御した3次元形状加工技術を用いた。 この際，加工時に表面に誘起される微細凹凸を除去して平滑化する方法も開発した。 その結果，波長670nmの光を導渡させて損失を評価したところ，0.5dBを達成でき，実用化が可能であることが確認できた。