精密光学系開発における製作誤差予測

摘要

光学部品の試作における課題の一つに加工誤差，組立誤差の見積がある．要求精度に対してこれらの見積結果が大きい場合には，加工手段，組立手段め変更が必要になる．従来から大型光学部品（天体望遠鏡など）では誤差見積(Error Budget)が行われ，それなりの効果を上げていたが．小型の試作に対しての適用はあまり見られない．今回，市販のFTIR（フーリエ変換赤外分光光度計）に組み込むゴーグル光学系の試作開発にあたり，光線追跡法を利用して加工誤差，組立誤差の影響を検討した．