硬脆材料の超精密加工に関する研究（概要）

摘要

本研究では，硬く割れやすい材料「硬脆材料」を対象にした超精密加工を課題とし，加工技術高度化を目指した加工実験を行う．対象とする硬脆材料にはガラスを選択し，延性モード切削（フライカット）と微細穴加工を試みる．具体的には，当研究所で開発した超精密旋盤を用いたフライカットによるソーダ石灰ガラスの延性モード切削加工に関する研究，及び，一般的な工作機械（操作フライス盤に超精密高速スピンドルを付加）と小径ドリルを用いた石英ガラスへの微細穴加工に関する研究を行う．これらの加工実験を主体とした研究を行うことにより，硬脆材料の超精密加工に向けた問題点を顕在化させ，その解決法及び問題点克服につながる基礎的なデータ取得を行い，加工技術の高度化に寄与する．