表面分析の概要

摘要

近年，製品開発や不具合の対応などで表面や界面の構造·組成の把握は益々重要になっており，様々な表面分析方法が用いられます。しかし，それぞれの表面分析の特性がわからず，どの分析方法を採用したらよいのか多くの人が難しいと感じているのではないでしょうか。そこで，表面分析の基礎の基礎として，代表的な表面分析であるEPMAやAES，XPS，SIMS，TOF-SIMSを簡潔に解説します。