高保磁力FePt系探針の側面方向成膜による先端先鋭化と交番磁気力顕微鏡による磁気記録ヘッドの5nm分解能·交流磁場イメージング

摘要

昨年我々は，FePt薄膜の高保磁力化のために，1）MgO添加によるグラニュラー構造化，2）FePt結晶粒の膜面内容易軸化のための低速昇温·長時間熱処理，3）規則化促進のための成膜中VHF プラズマ照射，を検討し，20kOe以上の膜面内保磁力を有する薄膜を得た．本研究では，先端先鋭探針を開発するために，専用の磁性探針製造装置を立ち上げ，本薄膜材料を用いて作製した探針を用いて，磁気記録ヘッドを観察し交流磁場勾配像の空間分解能を評価した．