交番磁気力顕微鏡の高分解能化に向けた磁場中熱処理による高感度FeCoSiB系非晶質ソフト磁性探針の開発

摘要

FeCoSiB 系非晶質合金はCo系非晶質合金と異なり，磁歪を組成調整によりゼロにできないので，ソフト磁気特性向上の観点から歪取り熱処理が有効と考えられる．また熱処理中の磁場印加により誘導磁気異方性の付与が可能であるので，探針先端の磁化状態を制御できる可能性がある．本研究では，FeCoSiB系非晶質合金探針について磁場中熱処理を行い，磁場中熱処理の効果をA-MFM観察により検討した結果を報告する．