C использованием кинетического моделирования методом частиц в ячейках проводится исследование параметров тлеющего разряда в азоте вблизи поверхности в сверхзвуковом потоке газа. Давление газа варьируется от 100 до 500 мТорр, приложенное напряжение — от —500 до —1000 В. Особое внимание уделено анализу влияния граничных условий на диэлектрике, окружающем электроды, на функцию распределения электронов по энергиям. Потенциал на диэлектрике находится из условия равенства локальных значений электронного и ионного токов на поверхность. Результаты самосогласованных расчетов показывают, что отрицательный потенциал на диэлектрике существенно уменьшает уход высокоэнергетичных электронов из объема и, таким образом, существенно меняет скорость ионизации, a также параметры и конфигурацию плазмы.
展开▼
