ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ГЕТЕРОГЕННОЙ РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ ХЛОРА В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ РЕЛАКСАЦИОННЫМ МЕТОДОМ

摘要

Релаксационная методика использована для исследования кинетики рекомбинации атомов в плазме хлора. Выявлен различный характер изменения во времени параметров плазмы электроотрицательных и электроположительных газов в условиях импульсного зажигания разряда. Предложен метод обработки экспериментальных данных для получения коэффициента гетерогенной рекомбинации атомов хлора при импульсном зажигании разряда. Получено численное значение коэффициента гетерогенной рекомбинации атомов хлора на стекле для плазмы чистого хлора и его смеси с кислородом.