Компонентами микросистемной тех-ники (МСТ) называют интегриро-ванные микроэлементы с размерами от микрометра до миллиметра, объеди-няющие электрические и трёхмерные механические элементы. При таких раз-мерах особое значение приобретают поверхностные эффекты, связанные с трением и смачиваемостью, а также электростатическое взаимодействие, поскольку отношение площади поверх-ности к объёму для элементов МСТ на порядки больше, чем для "обычных" электромеханических устройств.
展开▼
