КОРРЕКЦИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С СУБНАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ. ПРОБЛЕМЫ, СТАТУС, ПЕРСПЕКТИВЫ

摘要

Сообщается о статусе работ в ИФМ РАН в области прецизионной коррекции формы зеркал для объективов проекционных литографических установок с рабочей длиной волны 13.5 нм Обсуждаются основные проблемы и ближайшие перспективы Предлагается новая схема прецизионного интерферометра с двумя низкокогерентными источниками сферической волны.