首页> 外文期刊>Физика и техника полупроводников >ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ITO, ПРИМЕНЯЕМЫХ В КАЧЕСТВЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ КОНТАКТОВ СВЕТОДИОДОВ СИНЕГО И БЛИЖНЕГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНОВ
【24h】

ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ITO, ПРИМЕНЯЕМЫХ В КАЧЕСТВЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ КОНТАКТОВ СВЕТОДИОДОВ СИНЕГО И БЛИЖНЕГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНОВ

机译:薄膜ITO薄膜应用技术的优化,用作蓝光LED和下一个UV LED的透明导电触点

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Исследованы структурные, оптические и электрические свойства пленок оксида индия и олова (ITO), полученных электронно-лучевым испарением, магнетронным напылением и комбинированным способом. Показано, что, несмотря на высокую прозрачность электронно-лучевых пленок ITO в видимом диапазоне, их проводимость и показатель преломления заметно ниже аналогичных параметров для пленок ITO, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология создания двухслойных систем способом, комбинирующим эти два метода нанесения. В результате получены пленки, которые обладают преимуществами магнетронных слоев и могут быть применены в качестве контактных слоев к области p-GaN в светодиодах синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов.
机译:已经研究了通过电子束蒸发,磁控溅射和组合方法获得的铟锡氧化物(ITO)膜的结构,光学和电学性质。结果表明,尽管电子束ITO膜在可见光范围内具有很高的透明度,但其电导率和折射率却明显低于通过磁控管沉积获得的ITO膜的电导率和折射率。已经开发了一种通过结合这两种应用方法的方法来创建两层系统的技术。结果,获得了具有磁控管层的优点并且可以作为接触层施加到蓝色和近紫外LED中的p-GaN区域的膜。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号