Влияние концентрации олова на состав, оптические и электрические свойства пленок ITO, осажденных методом ультразвукового спрей-пиролиза на кремний и стекло

摘要

С целью оптимизации свойств легированного оловом оксида индия (ITO) применительно к кремниевым солнечным элементам осаждали пленки толщиной ~ 100 нм методом ультразвукового спрей-пиролиза при температуре 380°С в аргоне на подложки (nn~+)-Cz-Si и стекла, варьируя относительное содержание Sn и In в пленкообразующем растворе в диапазоне Sn/In = 0—12 ат%. Оптимальные параметры показали пленки, полученные при Sn/In = 2—Зат% в растворе (в пленке Sn/(In + Sn) = 5.2—5.3ат%): эффективное поглощение пленок на стекле, взвешенное по солнечному спектру в диапазоне длин волн 300—1100 нм, составило 1.6—2.1%, слоевое сопротивление пленок на кремнии R_s = 45—55Oм/□, пленок на стекле Rs = 165—175 Ом/□ Через 8 месяцев хранения на воздухе Rs оптимальных пленок не изменилось, Rs остальных пленок выросло: для пленок на кремнии до 2 раз, на стекле до 14 раз.