Анализ электрических и оптических свойств наноразмерных пленок легированных оксидов цинка и индия, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления при комнатной температуре

摘要

Проведено сравнение оптических и электрических свойств наноразмерных пленок оксида индия, легированного оловом, и оксида цинка, легированного алюминием, сформированных на кремниевой и стеклянной подложках методом ВЧ-магнетронного распыления в условиях пониженной мощности и при комнатной температуре. Представлены зависимости удельного сопротивления и коэффициента пропускания оксидов от мощности ВЧ-излучения магнетрона. График зависимости удельного сопротивления пленок обоих оксидов от мощности распыления имеет нелинейный вид с минимумом в области 50 W, для оксида цинка, легированного алюминием, данный минимум обнаружен впервые. Минимальные значения удельного сопротивления для оксида цинка, легированного алюминием, составляют 2.9 ? 10~(-3)? ? cm, для оксида индия, легированного оловом, - 5.4 ? 10~(-4)? ? cm. Оба оксида характеризуются высокими значениями коэффициента пропускания, близкими к 90% в диапазоне длин волн 500-1000 nm.