Приведены результаты исследования распределения примесей в зависимости от скорости выращивания блоков мультикремния методом Стокбаргера из рафинированного металлургического кремния. Обнаружено резкое влияние скорости роста на распределение примесей по высоте блока. При скоростях выше 1 ст/h наблюдается срыв фронта кристаллизации и захват примесей. Полученные результаты объясняются концентрационным переохлаждением, возникающим при увеличении скорости роста выше критической для данного типа исходного сырья. Экспериментальным путем определена оптимальная скорость кристаллизации с одновременной эффективной очисткой металлургического кремния от примесей.
展开▼
机译:提出了利用Stockbarger方法研究精炼冶金硅中取决于多晶硅块生长速率的杂质分布的结果。发现生长速率对沿着块高度的杂质分布的急剧影响。在高于1 st / h的速度下,观察到结晶前沿破裂并捕获了杂质。对于给定类型的原料,当增长率超过临界值时会发生浓度过冷,从而解释了所获得的结果。通过实验确定了同时从杂质中有效提纯冶金硅的最佳结晶速率。
展开▼