Формирование многослойного сверхтвердого покрытия Ti-Hf-Si-N/NbN/Al_20_3 для высокоэффективной защиты

摘要

Впервые получены многослойные твердые микро- и наноструктуры покрытия, полученные несколькими технологиями осаждения на основе Ti—Hf—Si—N/NbN/Al_2O_3 на подложку из стали. Обнаружено, что исследуемые покрытия, наряду с высокой твердостью (Н) от 47 до 56 GPa и модулем упругости (Е) от 435 до 570 GPa, индексом пластичности W_e = (0.08-0.11), имеют достаточно низкий коэффициент трения (μ), величина которого варьируется в пределах от 0.02 до 0.001 при заданных режимах осаждения. Показано, что эти многослойные покрытия обладают высокой термической стабильностью (свыше 1000°С).