ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИЗМЕНЕНИЯ СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПОД ДЕЙСТВИЕМ МАЛОДОЗОВОГО БЕТА-ОБЛУЧЕНИЯ

摘要

Описаны закономерности изменения механических свойств (микрои нанотвердость, вязкость разрушения при индентировании, скорость установившейся ползучести) и электрических характеристик (постоянная Холла, удельная проводимость, концентрация электрически активных дефектов) монокристаллов кремния в условиях малодозового (F < 10~(12) см~(-2)) низкоинтенсивного (I ~ 10~6 см~(-2)-с~(-1)) бета-облучения. Обсуждается механизм немонотонного бета-индуцированного разупрочнения кремния.