В статье рассмотрено влияние основных факторов, определяющих параметры откачной характеристики кинетического вакуумного насоса для молекулярного режима течения газа. Расчёт основывается на основных допущениях для молекулярно-кинетической теории газов: распределение молекул по скоростям теплового движения описывается распределением Максвелла, взаимодействие между молекулами газа отсутствует, взаимодействие между поверхностью твёрдого тела и молекулами газа описывается диффузным законом отражения, коэффициент аккомодации равен единице. Использование методов прямого статистического моделирования для расчёта откачных параметров элементов проточных частей и аналитические зависимости, согласовывающие их совместную работу, позволили значительно сократить время расчёта, не снижая точности расчёта и не искажая физики процесса откачки. Представленные математические зависимости позволяют проводить расчёт существующих кинетических высоковакуумных насосов (турбомолекулярных, молекулярных и комбинированных турбомолекулярных с молекулярными ступенями) с учётом всех проточных частей насосов.
展开▼
