ВЛИЯНИЕ ЧАСТОТЫ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ПОЛЯ ПОДОГРЕВАЮЩЕГО ИНДУКТОРА НА ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ГРАДИЕНТ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

摘要

Изучен процесс подогрева выращиваемого монокристалла кремния с помощью подогревающего индуктора в методе бестигельной зонной плавки. Проведены расчеты напряженности электромагнитного поля подогревающего индуктора и температурного градиента в монокристалле.