ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПОРОГЕНА Brij~R 30 НА СВОЙСТВА ТОНКИХ ПОЛИМЕТИЛСИЛСЕСКВИОКСАНОВЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ-МЕТОДОМ

摘要

Золь-гель-методом сформированы тонкие полиметилсилсесквиоксановые пленки с концентрацией порогена Brij~R 30 ω_(ПАВ) = 15.5-52.5 мас. %. Исследованы зависимости диэлектрической проницаемости, показателя преломления, относительной пористости и усадки пленок от температуры обработки и концентрации порогена.