水熱合成法を用いたニオブ酸カリウム系非鉛圧電セラミックの合成

摘要

水熱合成法は，200℃程度の水溶液中のイオン反応を応用することにより高品質な圧電薄膜や結晶粉末を合成するプロセスである．多くの薄膜技術が，600℃以上の結晶化プロセスが必須であるのに対して，水熱合成法は200℃以下と極めて低い反応温度で高品質な薄膜が得られることが特徴である．圧電体を合成する場合，この反応温度はキュリー点以下であるために，成膜時から実際に使う室温までに相転移がなく，残留応力が極めて小さい．