低濃度ジルコニア式酸素濃度計「○×400」

摘要

同社は，半導体や電子機器の製造で低酸素状態を必要とする工程の酸素濃度管理用に本装置を開発し，販売を開始した．0Ⅹ400は，独自技術によりセンサ寿命約3倍（同社比），応答速度約2倍（同社比）の高性能を達成した．同社は「0Ⅹ400」により，半導体や電気電子部品製造装置に搭載する低濃度酸素濃度計分野に参入する．