金属-セラミックスナノグラニユラー膜のナノ構造と多機能性

摘要

金属-セラミックスナノグラニュラー膜は，窒化物，酸化物やフッ化物の絶縁体セラミックスから成るマトリックス中にナノメーターサイズの磁性金属粒子（ナノグラニュール）が均一に分散した構造を有し，その微細構造に起因したさまざまな機能性を示す．図1には，ナノグラニュラー構造のイメージ図と，磁性金属ナノグラニュールにFe－Co合金，絶縁体セラミックスにMgF2を用いたFe_(11)Co9Mg_(26)F_(54)膜の高分解能電子顕微鏡像を示す．