РАДИАЛЬНАЯ ТЕОРИЯ ИОННОГО ТОКА НА ЗОНД В ПЛАЗМЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С УЧЕТОМ ОБЪЕМНОЙ ИОНИЗАЦИИ И СТОЛКНОВЕНИЙ С АТОМАМИ

摘要

Рассматривается ионный ток на сферический и цилиндрический зонды с учетом ионизации и столкновений с атомами в приближении холодных ионов. Получено выражение для концентрации ионов при одновременном учете ионизации и столкновений в области возмущения конечных размеров. Путем численного решения уравнения Пуассона вычислены вольтамперные характеристики для безразмерных параметров r_3/λ_д =0.0001-10, λ_i/λ_Д = 0.01-∞, zλ_д/(kT_e/M)~(1/2) = 0-5. Получены аппроксимирующие выражения.