Предложена методика аналитического расчета скорости потока газовой смеси и концентрации ростового компонента в процессе эпитаксии из газовой фазы, происходящей в реакционной камере с вращающимся диском-подложкодержателем. Проведен анализ зависимости концентрации ростового компонента от ряда технологических параметров процесса эпитаксии.
展开▼