МЕТОД ПОВЫШЕНИЯ ПРОЧНОСТИ КОНСТРУКЦИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ С ГАЛЬВАНИЧЕСКИ ОСАЖДЕННЫМИ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ

摘要

Рассмотрен метод повышения прочности адгезионного соединения дополнительной инерционной массы, гальванически осаждаемой на поверхность пьезокристалла для повышения чувствительности микромеханического датчика угловой скорости на поверхностных акустических волнах. Проанализировано влияние водородного охрупчивания титановых пленок на разрушение адгезионной связи и предложены технологические способы минимизации этого негативного явления.