ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ МДП-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА

摘要

Исследовано влияние температуры кристалла на метрологические и эксплуатационные характеристики интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными элементами. На основании полученных экспериментальных результатов предложена модель зависимости водородной чувствительности от рабочей температуры кристалла.