ЦИФРОВЫЕ СПОСОБЫ КОРРЕКЦИИ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ С ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР 'КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ'

摘要

Приведены результаты экспериментальных исследований эффективности цифровых способов коррекции температурной погрешности датчиков давления с тензопреобразователями на основе структур "кремний на сапфире". Предложен способ коррекции, обеспечивающий снижение погрешности серийно выпускаемых датчиков.