ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ МЭМС-ДАТЧИК СЕЙСМОСКОРОСТИ ДЛЯ СИСТЕМ АВАРИЙНОЙ ЗАЩИТЫ И ДИАГНОСТИКИ

摘要

Представлены результаты разработки датчика сейсмоскорости на основе МЭМС-технологий, внедренных в ОАО "НИИФИ" с начала 1980-х годов прошлого столетия. Показаны преимущества МЭМС-датчика в сравнении с известными аналогами, заключающиеся в улучшении массогабаритных и энергетических характеристик.