Рассмотрены современные материалы и типы подложек, используемые для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ), и особенности выбора материалов для чувствительных элементов датчиков на ПАВ. Приведена классификация датчиков, показаны учитываемые при разработке факторы, выделены критерии выбора Материалов.
展开▼
