3D-MEMS光スイッチモジュールのスイッチング特性

摘要

低消費電力で高密度実装が可能な128×128ポート3D-MEMS光スイッチを試作し、スイッチ時の特性評価を行った。3D-MEMS光スイッチは環境温度変化等により、光ビームの偏向素子であるMEMSミラーの角度調整が必要となる。本報告の光スイッチは、スイッチング動作時に出力光パワーを用いて、高速かつ高精度に光パワーを最適化するフィードバック制御を実装した。フィードバック制御パラメータは、ミラーの非線形な電圧角度特性を考慮した最適化手法を用いて決定した。このフィードバックアルゴリズムを光スイッチに実装してスイッチ時間の測定を行った結果、全てのパスで50ms以内を実現した。