プラズマCVD法によるカーボンナノファイバー·ナノチューブの低温合成

摘要

炭素系ナノ構造体であるカーボソナノファイバー（CNF）·カ"ボソナノチュMブ（CNT）は，その特典な性質から，従来のエレクトロニクスに代わる次世代のナノエレクトロニクスを切り開く可能性を大きく秘めた材料であり，電子源，分子セソサ｛，スーパーキャパシターなどの様々な応用が期待されている．CNF·CNTを用いたナノデバイスを実現させるためにほ，CNF·CNTを低温成長させることが重要であるものの，CNF·CNTの低温合成法が確立されていないのが現状である．