混酸廃液からの酸の蒸留回収技術の開発

摘要

半導体製造工程から排出されるフツ酸－硝酸－酢酸および液晶製造工程から排出されるリン酸-硝酸-酢酸などの酸混合溶液は，平成13年度において年間約300万トン以上排出されている．混合廃酸溶液が再生して利用されることは少ない．シリコンウエハーのエッチング工程から排出される混酸廃液から溶媒摘出によってその酸の一部が再生されてはいるが，ほとんどは中和処理または艶め立て海洋投入処艶が主流である．現在の廃酸の再生利用率は約25％，中和処理率は約69％，最終処分率が約6％であり，ほとんどが中和処理および廃アルカリの中和剤として使用されている．現在，地球環境保全などの理由から廃酸の再資源化技術が求められており，廃酸溶液からの各酸の分離および洩縮技術の開発が求められている．