極高真空材料

摘要

1980年代後半に，主に日本で研究開発が始まった極高真空技術は超高真空の圧力領域より低い圧力，日本では109pa，米国では10￣10pa以下の圧力の到達を可能にするための排気·材料，そして計測技術の開発を目指したものである．そしてこれら開発技術は粒子線加速器，放射光実験殉設，重力波検出設備，核融合装置など超·極高真空を利用する大型実験研究装置並びに先進的半導体薄膜生産装置などでの適用が精力的に検討されている．