ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССОВ В ФАКЕЛЕ ПРИ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ НА УДЕЛЬНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ И МОРФОЛОГИЮ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ZNO

摘要

Изучены особенности формирования нанокристаллических пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения при различных расстояних мишень-подложка. Получены выражения для оценки температуры, концентрации частиц и давления в факеле при лазерной абляции. Проведена оценка влияния этих параметров на электрофизические свойства нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом импульсного лазерного осаждения. Продемонстрирована возможность контролируемого получения нанокристаллических пленок ZnO с шероховатостью поверхности в диапазоне 2-15 nm, диаметром зерен в интервале 70-620 nm, удельным сопротивлением в диапазоне (1.75-5.3)·10~(-3) Omega·cm. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (соглашение N 14-08-90010 Бел_а), БРФФИ в рамках научного проекта N Т14Р-165 и проектной части государственного задания в сфере научной деятельности (задание N 16.1154.2014/K). Результаты получены с использованием оборудования Центра коллективного пользования и Научно-образовательного центра "Нанотехнологии" Южного федерального университета.