ТВЕРДОФАЗНЫЙ СИНТЕЗ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА ПОВЕРХНОСТИ SI(100)2X1

摘要

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого энергетического разрешения с использованием синхротронного излучения исследован твердофазный синтез силицидов марганца на поверхности Si(100)2x1, покрытой при комнатной температуре пленкой марганца толщиной 2 nm. Выявлена динамика изменения фазового состава и электронной структуры приповерхностной области с ростом температуры отжига образца в диапазоне до 600oC. Показано, что в данных условиях на поверхности кремния последовательно формируются твердый раствор кремния в марганце, металлический моносилицид марганца MnSi и полупроводниковый силицид MnSi1.7. Пленки обоих силицидов не являются сплошными, и занимаемая ими доля поверхности подложки уменьшается с повышением температуры отжига. Определены энергии связи Si 2p- и Mn 3p-электронов в синтезированных соединениях. Работа выполнена при поддержке Российско-Германской лаборатории в HZB BESSY, при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 13-02-00398 и N 13-02-01265), гранта поддержки ведущей научной школы (проект НШ-1044.2012.2) и интеграционного проекта СО РАН - ДВО РАН N 85.