Неразрушающий контроль параметров шероховатости и нарушенного слоя свободной поверхности анизотропного твердого тел на основе поверхностных акустических волн

摘要

Предложен метод неразрушающего контроля параметров шероховатости и нарушенного слоя поверхности гексагонального кристалла и изотропного твердого тела на основе поверхностных акустических волн (ПАВ) Рэлея и сдвиговой (SH) поляризации. Изучаемая поверхность граничит с вакуумом и может быть либо шероховатой поверхностью, либо изотропным нарушенным поверхностным слоем. Задача рассматривается в пределе длинных волн (по сравнению с амплитудой шероховатости или толщиной нарушенного слоя, а также по сравнению с характерным радиусом неоднородности поверхности). Показано, что в длинноволновом пределе по известным значениям дисперсии фазовой скорости и длины затухания ПАВ Рэлея можно найти дисперсию фазовой скорости и длину затухания волн SH-поляризации (или наоборот). Задача с изотропным нарушенным поверхностным слоем рассматривается в частном случае, когда флуктуирует только плотность.