結晶シリコン太陽電池におけるセル製造ラインの改革

摘要

結晶シリコン太陽電池の低コスト化で重要なセルの高効率化と薄型化に対応した製造プロセスを概説す る．また，関連してその高効率化に不可欠なSiN膜とSiO膜の形成に用いられるプラズマCVD (ChemicalVapor Dep os itio n）にも言及する．