半導体微細加工技術を中心に作られるマイクロシステム

摘要

半導体集積回路を製作するのに用いられる微細加工技術に，光，電気，機械，材料などの技術を細み合わせ，シリコンチップ上に電子回路だけでなくセンサや運動機構などを形成した「マイクロシステム」を実現できる。 これはシステムの鍵を握る部品として使われており，自動車の安全装備周としてのジャイロ，情報機器の中で用いるデータストレージ，製造検査装置に使用するリレー，医療用で血管内において血圧を測る極細血圧センサなどの例を紹介する。 この技術が役に立つためには，設備の有効利用やオ－プンコラボレーションが大切である。