太陽電池用高純度シリコンの新しい製造法（Ⅲ）

摘要

四塩化ケイ素の亜鉛還元による高純度シリコン製造プロセスについて検討を進めている。 2004年度には繊維状シリコン単結晶集積体の製造の可能性を見出し、2005年度には合成条件を広く探る実験を行った。 2006年度はシリコンの生成条件をより高度に制御し、工業化の可能性を見出すことを目的として装置の大型化と原料供給方法の検討を行った。 まず過去の実験で問題となっていた点を精査し、これらの解決を図るため、水平型反応塔装置と改良版小型反応塔装置の二種類を試作した。